Material information
【タイトル】
半導体製造装置用語辞典
【版情報】
第2版
【著者名等】
日本半導体製造装置協会/編  ≪再検索≫
【出版】
日刊工業新聞社 1991.9
【大きさ等】
22cm 419p
【NDC分類】
549.8
【件名】
半導体  ≪再検索≫
【書誌番号】
3-0190432100
【要旨】
旧版用語・内容を全面的に見直し、整理・追加を加えて、用語数2200語を掲載。より使いやすい実務辞典。
【目次】
第1章 半導体製造フローチャートと装置用語の構成;第2章 設計工程用語;第3章 マスク製作工程用語;第4章 ウェーハ製造工程用語;第5章 ウェーハ処理工程用語;第6章 組立工程用語;第7章 検査工程用語;第8章 設備・環境工程用語;資料
【ISBN】
4-526-02987-4

Holding information 2records
1record-2record
0004624343
中央
549.8 /3 /1991

書架
書庫(自然科学中央)

0005212928
中央
549.8 /3 /1991

書架
書庫(調査中央)

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