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次世代の超精密加工技術編集委員会 -- 産業技術サービスセンター -- １９９４．０９ -- ２７ｃｍ -- 532
次世代の超精密加工技術編集委員会 -- 産業技術サービスセンター -- １９９３．１０ -- ２７ｃｍ -- 532
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