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【図書】 小さなものをつくるためのナノ／サブミクロン評価法

μｍからｎｍ寸法のものをつくるための材料，物性，形状，機能の評価法 --
肥後矢吉 ／編著, 谷川紘 ／共著, 鈴木健一郎 ／共著, 磯野吉正 ／共著, 荻博次 ／共著, 土屋智由 ／共著, 石山千恵美 ／共著   -- コロナ社 -- ２０１５．７ -- ２１ｃｍ -- １９６ｐ

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タイトル 小さなものをつくるためのナノ／サブミクロン評価法
副書名 μｍからｎｍ寸法のものをつくるための材料，物性，形状，機能の評価法
著者名等 肥後矢吉 ／編著, 谷川紘 ／共著, 鈴木健一郎 ／共著, 磯野吉正 ／共著, 荻博次 ／共著, 土屋智由 ／共著, 石山千恵美 ／共著  
出版 コロナ社 ２０１５．７
大きさ等 ２１ｃｍ １９６ｐ
分類 501.4
件名 ナノマテリアル , マイクロマシン
注記 並列タイトル：Ｍａｔｅｒｉａｌｓ　Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ　Ｍｅｔｈｏｄｓ　ｆｏｒ　Ｍｉｃｒｏ／ｎａｎｏ　Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ　ａｎｄ　Ｄｅｖｉｃｅｓ
注記 文献あり　索引あり
著者紹介 【肥後】１９６８年東京工業大学工学部卒。７４年同大学院博士課程修了。同年、同大学精密工学研究所助手。８７年同大学精密工学研究所助教授。９３年同大学精密工学研究所教授。２０１０年同大学名誉教授。同年、立命館大学客員教授。１５年同大学上席客員研究員、現在に至る。
内容紹介 肉眼では見にくい、あるいは見えないほど小さな動く機械をつくるために必要な設計、材料、機能、寸法、組立ての評価方法を国際標準に沿って解説。「シミュレーション」「薄膜の弾性定数の精密計測法」など６章で構成。
目次 １　シミュレーション；２　薄膜の弾性定数の精密計測法；３　微小材料や薄膜の材料強度評価法；４　３次元マイクロ構造体の形状計測法および信頼性評価；５　動特性計測：微細なものの動的変形と振動評価；６　微細なものの接着・接合強度評価
ISBN(13)、ISBN 978-4-339-04643-4　　 4-339-04643-4
書誌番号 1113282087
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1113282087

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中央 ４階自然科学 Map 501.4 一般書 利用可 - 2054692024 iLisvirtual

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