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【図書】 超精密洗浄技術の開発

角田光雄 ／監修   -- シーエムシー -- ２０００．０９ -- ２１ｃｍ -- ２４７ｐ

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タイトル 超精密洗浄技術の開発
著者名等 角田光雄 ／監修  
出版 シーエムシー ２０００．０９
大きさ等 ２１ｃｍ ２４７ｐ
分類 576.5
件名 洗浄・洗浄剤
注記 『超精密洗浄技術』（１９９２年刊）の普及版
要旨 超精密洗浄技術が環境問題により変化した。そのことについて各分野の第一線で活躍中の方々に執筆していただいている。
目次 第１章　精密洗浄の技術動向（精密洗浄技術；洗浄メカニズム　ほか）；第２章　超精密洗浄技術（ウェハ洗浄技術；ウェハ乾燥技術　ほか）；第３章　ＣＦＣ‐１１３と１，１，１‐トリクロロエタンの規制動向と規制対応状況（国際法による規制スケジュール；規制強化に関する最近の動向　ほか）；第４章　洗浄剤・洗浄装置などの市場（洗浄剤；純水製造装置、公害防止装置などの市場）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-88231-083-X
書誌番号 1100048744
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1100048744

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 576.5/79 一般書 利用可 - 2020981400 iLisvirtual

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