池永勝 /著, 鈴木秀人 /著   -- 日刊工業新聞社 -- 2000.10 -- 21cm -- 157p

資料詳細

タイトル ドライプロセスによる超硬質皮膜の原理と工業的応用
著者名等 池永勝 /著, 鈴木秀人 /著  
出版 日刊工業新聞社 2000.10
大きさ等 21cm 157p
分類 571
件名 薄膜
内容 索引あり
要旨 本書は、超硬質皮膜の成膜原理と応用について解説した。教科書として利用いただける学生はもとより、企業に従事する現場技術者、研究開発者をも対象にし、実際の工業的応用例についても可能な限り記述、今後の適用の指針になるよう配慮した。
目次 第1章 超硬質皮膜の動向;第2章 蒸着法の原理と特徴;第3章 メゾ表面機能創発と信頼性評価;第4章 PVD皮膜の工業的応用;第5章 CVD皮膜の工業的応用;第6章 DLC皮膜の工業的応用
ISBN(13)、ISBN    4-526-04650-7
書誌番号 1100061599

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 571/80 一般書 利用可 - 2023202584 iLisvirtual