資料詳細

【図書】 半導体製造装置用語辞典

第５版 --
日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- ２０００．１１ -- ２２ｃｍ -- ５８８ｐ

タイトル	半導体製造装置用語辞典
版情報	第５版
著者名等	日本半導体製造装置協会／編
出版	日刊工業新聞社２０００．１１
大きさ等	２２ｃｍ５８８ｐ
分類	549.8
件名	半導体－辞典
内容	文献あり　索引あり
要旨	第５版では、半導体を取り巻く環境の急変に合わせ、新規用語２３８語を採用し、掲載用語総数は２６３６語になった。各工程別では、「設計工程」が用語の構成を変更し、「ウェーハ処理工程」ではＣＭＰ関連の用語を大幅に増やした。「組立工程」ではグラインディングの項を新設し、「設備・環境工程」は安全規格用語の見直しを図った。
目次	第１章　半導体製造フローチャートと装置用語の構成；第２章　設計工程用語；第３章　マスク製作工程用語；第４章　ウェーハ製造工程用語；第５章　ウェーハ処理工程用語；第６章　組立工程用語；第７章　検査工程用語；第８章　設備・環境工程用語
ISBN(13)、ISBN	4-526-04666-3
書誌番号	1100068757

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		549.8/3/2000	一般書	利用可	館内のみ	2023424846