資料詳細

【図書】 イオンビーム技術の開発

ＣＭＣテクニカルライブラリー --
イオンビーム応用技術編集委員会／編 -- シーエムシー -- ２００１．０６ -- ２１ｃｍ -- ４３７ｐ

タイトル	イオンビーム技術の開発
シリーズ名	ＣＭＣテクニカルライブラリー
著者名等	イオンビーム応用技術編集委員会／編
出版	シーエムシー２００１．０６
大きさ等	２１ｃｍ４３７ｐ
分類	549.1
件名	イオンビーム
注記	『イオンビーム応用技術』（１９８９年刊）の普及版
要旨	本書は、基礎的なイオンビームの物理化学、各種イオンビーム装置技術、またこれらの装置を用いた応用技術、特にイオン注入あるいは薄膜コーティングを主体にした表面機能材料、機能素子への応用に重点を置き、それぞれの分野の第一人者に執筆頂いたものである。
目次	基礎編（イオンビームと固体との相互作用；イオンビームの物理化学；イオンビームの発生と輸送；イオンビーム装置）；応用編（イオン注入による表面改質技術とその応用；イオンミキシングによる表面改質技術とその応用；薄膜形成表面被覆技術とその応用；表面除去加工技術とその応用；イオンビームによる分析評価技術　ほか）
ISBN(13)、ISBN	4-88231-730-3
書誌番号	1101033745
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1101033745

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	書庫		549.1/31	一般書	利用可	-	2025036320