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【図書】 すぐ使える洗浄技術

装置・洗浄剤の機能と特徴 --
工業調査会 ／編   -- 工業調査会 -- ２００１．０８ -- ２１ｃｍ -- ３５８ｐ

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タイトル すぐ使える洗浄技術
副書名 装置・洗浄剤の機能と特徴
著者名等 工業調査会 ／編  
出版 工業調査会 ２００１．０８
大きさ等 ２１ｃｍ ３５８ｐ
分類 576.5
件名 洗浄・洗浄剤
内容 文献あり　索引あり
要旨 本書は、洗浄技術のうち、特に洗浄装置と洗浄剤を中心に解説している。洗浄装置の抱える技術課題や解決方法、装置選定のポイントのほか、代表的な洗浄装置、代替洗浄剤について、その詳細をそれぞれ専門技術者に解説して頂いた。さらに、製造現場ではどのように代替洗浄が行なわれているか、半導体製造工程、液晶製造工程における事例を紹介した。
目次 第１章　洗浄技術の現状（洗浄技術の課題と展望；洗浄装置選定のポイント　ほか）；第２章　エレクトロニクス産業の洗浄技術（半導体洗浄技術の現状；半導体ウェハ洗浄技術の動向　ほか）；第３章　洗浄装置の機能と特徴（真空洗浄装置；水系洗浄装置　ほか）；第４章　洗浄剤の特徴と選定（環境に優しい洗浄剤；水系洗浄剤　ほか）；第５章　資料（洗浄度の指標分類；脱脂洗浄法と洗浄剤との適合性　ほか）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-7693-4149-0
書誌番号 1101051437
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1101051437

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 Map 576.5 一般書 利用可 - 2025562260 iLisvirtual

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