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【図書】 エピタキシャル成長のメカニズム

シリーズ：結晶成長のダイナミクス --
中嶋一雄 ／責任編集   -- 共立出版 -- ２００２．０５ -- ２２ｃｍ -- ２１０ｐ

資料詳細

タイトル エピタキシャル成長のメカニズム
シリーズ名 シリーズ：結晶成長のダイナミクス
著者名等 中嶋一雄 ／責任編集  
出版 共立出版 ２００２．０５
大きさ等 ２２ｃｍ ２１０ｐ
分類 549.8
件名 半導体 , 結晶成長
注記 シリーズの編者：西永頌，宮澤信太郎，佐藤清隆
内容 文献あり　索引あり
要旨 本巻では、エピタキシャル成長の熱力学、結晶成長のカイネティクス、基板の表面状態とエピタキシャル成長、ヘテロエピタキシャル成長といった、エピタキシャル成長にとって最も基本となり重要なテーマを取り上げ解説している。成長方法は、最も基本となる液相エピタキシャル成長、気相エピタキシャル成長、分子線エピタキシャル成長の３方法を取り上げた。
目次 １　基本概念（エピタキシャル成長の基礎；結晶成長に影響を与える因子；成長モード）；２　エピタキシャル成長の熱力学（固液平衡からの成長（ＬＰＥ）；固気平衡からの成長）；３　結晶成長のカイネティクス（成長表面のカイネティクス；溶液成長における溶質元素の拡散；気相成長の物質輸送効果）；４　基板の表面状態とエピタキシャル成長（面方位とエピタキシャル成長；微傾斜面とエピタキシー；サーファクタントを利用した成長）；５　ヘテロエピタキシャル成長（ヘテロエピタキシャル成長と格子整合；ヘテロ構造の応力・歪み）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-320-03412-0
書誌番号 1102033303

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 Map 549.8 一般書 利用可 - 2027223829 iLisvirtual

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