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【図書】 薄膜化技術

第３版 --
和佐清孝 ／著, 早川茂 ／著   -- 共立出版 -- ２００２．０６ -- ２２ｃｍ -- ３１６ｐ

資料詳細

タイトル 薄膜化技術
版情報 第３版
著者名等 和佐清孝 ／著, 早川茂 ／著  
出版 共立出版 ２００２．０６
大きさ等 ２２ｃｍ ３１６ｐ
分類 549.8
件名 薄膜
内容 文献あり　索引あり
要旨 薄膜化技術はナノテクノロジーの基礎。思い通りのナノ材料・デバイスが薄膜化技術で作製できる。最新のデータとノウハウを増補。
目次 第１部　薄膜とその応用（薄膜材料；薄膜の形成法と評価；スパッタプロセスにおける興味ある現象）；第２部　スパッタの基礎と応用（スパッタの基礎；スパッタ装置と動作特性；化合物薄膜とスパッタ蒸着；薄膜構造の精密制御とナノメータ材料）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-320-08613-9
書誌番号 1102039172

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 Map 549.8 一般書 利用可 - 2027375858 iLisvirtual

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