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【図書】 真空ハンドブック

新版 --
アルバック ／編   -- オーム社 -- ２００２．０７ -- ２７ｃｍ -- ３３１ｐ

資料詳細

タイトル 真空ハンドブック
版情報 新版
著者名等 アルバック ／編  
出版 オーム社 ２００２．０７
大きさ等 ２７ｃｍ ３３１ｐ
分類 534.93
件名 真空技術－便覧
内容 文献あり　索引あり
要旨 本書は、半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心として編集したものである。
目次 第１章　真空の基礎；第２章　真空用部品；第３章　真空用構成材料；第４章　熱；第５章　低温；第６章　プラズマ・イオンビーム；第７章　表面分析；第８章　薄膜・表面加工；第９章　応用
ISBN(13)、ISBN 　　 4-274-08727-1
書誌番号 1102043759
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1102043759

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 Map 参考書 534.9 一般書 利用可 館内のみ 2020142491 iLisvirtual

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