資料詳細

【図書】 トコトンやさしい薄膜の本

Ｂ＆Ｔブックス -- 今日からモノ知りシリーズ
麻蒔立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- ２００２．０８ -- ２１ｃｍ -- １５９ｐ

タイトル	トコトンやさしい薄膜の本
シリーズ名	Ｂ＆Ｔブックス今日からモノ知りシリーズ
著者名等	麻蒔立男／著
出版	日刊工業新聞社２００２．０８
大きさ等	２１ｃｍ１５９ｐ
分類	549
件名	薄膜
内容	文献あり　索引あり
要旨	本書では、“とことんやさしい薄膜”を心がけ、多くの方に「薄膜」がどんなものであるか、どんな新しいことができるか、わかっていただけるように努めた。
目次	第１章　人類の夢を実現する薄膜；第２章　薄膜作成に欠かせない真空；第３章　薄膜の構造と性質、その作成法；第４章　蒸着法で作る薄膜；第５章　スパッタ法で作る薄膜；第６章　気相成長（ＣＶＤ）法で作る薄膜；第７章　めっき薄膜；第８章　エッチングと平坦化の技術
ISBN(13)、ISBN	4-526-04999-9
書誌番号	1102054174
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1102054174

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