資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

【図書】 薄膜工学

白木靖寛 ／編著, 吉田貞史 ／編著, 金原粲 ／監修   -- 丸善 -- ２００３．３ -- ２１ｃｍ -- ３１０ｐ

資料詳細

タイトル 薄膜工学
著者名等 白木靖寛 ／編著, 吉田貞史 ／編著, 金原粲 ／監修  
出版 丸善 ２００３．３
大きさ等 ２１ｃｍ ３１０ｐ
分類 549.8
件名 薄膜
注記 文献あり　索引あり
内容紹介 基礎的な技術でありながら、関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う薄膜技術。本書は、その基本事項とともに最新技術の紹介も行い、産業にも生かせる形でわかりやすく解説したテキスト。
要旨 薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。いわゆる情報化社会を可能にしている技術をハード面で支えているのが、薄膜技術である。本書は、その基本事項を解説するとともに、最新技術の紹介も行い、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説する教科書である。
目次 １　総論（薄膜の機能と応用；薄膜形成技術；膜成長過程とエピタキシー；薄膜の歴史）；２　薄膜の作製法（真空蒸着；スパッタリング法；化学気相成長法）；３　薄膜の機能（半導体薄膜；光学薄膜；有機薄膜；誘電体薄膜；磁性薄膜）；４　薄膜の性質と応用（膜厚測定法；薄膜の機械的・力学的性質；薄膜の化学的性質；電子デバイスへの応用）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-621-07143-2
書誌番号 1103016629
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1103016629

ページの先頭へ

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549/415 一般書 利用可 - 2028908914 iLisvirtual

ページの先頭へ