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【図書】 分光エリプソメトリー

藤原裕之 ／著   -- 丸善 -- ２００３．６ -- ２１ｃｍ -- ２５１ｐ

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タイトル 分光エリプソメトリー
著者名等 藤原裕之 ／著  
出版 丸善 ２００３．６
大きさ等 ２１ｃｍ ２５１ｐ
分類 425.5
件名 分光学
注記 文献あり　索引あり
著者紹介 １９９１年早稲田大学理工学部卒。９６年東京工業大学大学院電子化学専攻博士課程修了。９６～９８年ペンシルベニア州立大学研究員。９８～２００１年電子技術総合研究所任期付研究員。現在、産業技術総合研究所研究員。
内容紹介 分光エリプソメトリーの急速な利用拡大を踏まえ、その理解に必要な基礎、および具体的な測定法・解析法についてわかりやすく解説。評価材料も半導体からバイオ材料まで取り入れ、広範な分野で利用できる入門書。
要旨 分光エリプソメトリーをもちいた測定技術は飛躍的な発達を遂げ、同時にコンピューターの発達により測定の自動化が進み、その結果、分光エリプソメトリーは、簡便な高精度測定法としての地位を確立し、現在では半導体から有機薄膜の評価まで広く利用されている。本書は、これらの急速な利用拡大を踏まえ、測定技術およびデータ解析を大学および企業において分光エリプソメトリーを新しく利用し始めた研究者にわかりやすく解説した入門書として最適です。
目次 第１章　分光エリプソメトリーとは；第２章　光学の基礎；第３章　偏光；第４章　分光エリプソメトリーの原理；第５章　データ解析；第６章　材料別解析例；第７章　分光エリプソメトリーによる実時間観測
ISBN(13)、ISBN 　　 4-621-07253-6
書誌番号 1103045852

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所蔵

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 425.5/11 一般書 利用可 - 2029670350 iLisvirtual

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