資料詳細

【図書】 マイクロマシン技術総覧

ナノテクノロジーの基盤技術 --
マイクロマシン技術総覧編集委員会／編 -- 産業技術サービスセンター -- ２００３．１ -- ２７ｃｍ -- ７５３，６ｐ

タイトル	マイクロマシン技術総覧
副書名	ナノテクノロジーの基盤技術
著者名等	マイクロマシン技術総覧編集委員会／編
出版	産業技術サービスセンター２００３．１
大きさ等	２７ｃｍ７５３，６ｐ
分類	530
件名	マイクロマシン
注記	索引あり
目次	総論　マイクロテクノロジーへの展開；第１編　基礎編（マイクロ理工学；マイクロ材料）；第２編　微細加工技術（機械加工；マイクロ電気加工・ビーム加工；エッチング；ＰＶＤ、ＣＶＤ；ＬＩＧＡプロセス；マイクロ光造形）；第３編　マイクロマシンの要素（総論―ナノ・マイクロマシンを設計する；マイクロメカニズム；マイクロアクチュエータ；マイクロマニピュレーション；マイクロ計測）；第４編　マイクロマシン応用例（マイクロアクチュエータの応用；マイクロ要素・デバイス；マイクロセンサデバイス；マイクロシステム；その他）
ISBN(13)、ISBN	4-915957-40-3
書誌番号	1103075577
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1103075577

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学 Map	参考書	530	一般書	利用可	館内のみ	2030635232