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【図書】 半導体工場ハンドブック ２００４

産業タイムズ社 -- ２００３．１２ -- ２８ｃｍ -- １４３ｐ

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タイトル 半導体工場ハンドブック ２００４
出版 産業タイムズ社 ２００３．１２
大きさ等 ２８ｃｍ １４３ｐ
分類 549.8
件名 半導体
注記 ２００４のサブタイトル：ナノレベルに突入した次世代ラインの全貌
目次 巻頭特集　花開く半導体の次世代アプリ―デジタル家電、車載、流通などの動向を徹底分析；第１部　新世代技術に挑む次世代半導体工場（２００３～２００４年半導体業界展望；国内における半導体前工程工場の新増設計画　ほか）；第２部　新技術・材料・プロセスに挑む装置・材料メーカー動向（リソグラフィー装置・材料；シリコンウエハーおよび関連装置　ほか）；第３部　工場ルポ２００３―次世代デバイスに挑む国内半導体工場（（株）広島エルピーダメモリ；宮崎沖電気（株）　ほか）；第４部　半導体工場分布図・ディレクトリー（半導体工場分布図（地域別）；台湾半導体工場マップ　ほか）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-88353-097-3
書誌番号 1103100310
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1103100310

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.8/48/2004 一般書 利用可 館内のみ 2031188949 iLisvirtual

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