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【図書】 トコトンやさしい　超微細加工の本

Ｂ＆Ｔブックス -- 今日からモノ知りシリーズ
麻蒔立男 ／著   -- 日刊工業新聞社 -- ２００４．１ -- ２１ｃｍ -- １５９ｐ

資料詳細

タイトル トコトンやさしい　超微細加工の本
シリーズ名 Ｂ＆Ｔブックス 今日からモノ知りシリーズ
著者名等 麻蒔立男 ／著  
出版 日刊工業新聞社 ２００４．１
大きさ等 ２１ｃｍ １５９ｐ
分類 549.8
件名 半導体 , 精密加工
注記 文献あり　索引あり
著者紹介 昭和９年愛知県生まれ。３２年静岡大学工学部卒、日本電気（株）入社。４２年日電バリアン（株）設立と同時に出向。５１～５２年日本真空協会理事、研究部会長。６０年東京都知事賞受賞。６１年日電アネルバ（株）取締役。平成２年東京理科大学教授。１３年第２６回技術賞受賞。
内容紹介 超微細加工は薄型ディスプレイやＬＳＩなどの電子デバイスには欠かせないキーテクノロジーであり、最近では医療分野でも重要な役割を果たしている。本書では、その超微細加工についてトコトンやさしく解説する。
要旨 超微細加工は薄型ディスプレイやＬＳＩなどの電子デバイスには欠かせないキーテクノロジーであり、最近では医療分野でも重要な役割を果たしています。原子をもあやつって、いろんなモノを陰で支える基礎技術です。この本では“トコトンやさしい”解説を心がけ、多くの方に「超微細加工」がどんなものであるか、どんなことができるか、将来どのようになっていくのであろうかをわかっていただけるように努めています。
目次 第１章　ナノテクの中核技術、超微細加工（ナノテクでモノ作りその中核超微細加工；超微細加工の加工法　ほか）；第２章　基板作りの基本（基板になるもの；ガラスの基板を作る　ほか）；第３章　基板にパターンを転写（光を使った露光；電子ビームで露光　ほか）；第４章　薄膜の作り方とその性質（薄膜とその作り方；真空とその単位　ほか）；第５章　さまざまな技術で薄膜を作る（蒸着法のソース；レーザアブレーション　ほか）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-526-05226-4
書誌番号 1104006743
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1104006743

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