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【図書】 ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡

表面分析技術選書 --
日本表面科学会 ／編   -- 丸善 -- ２００４．２ -- ２１ｃｍ -- １８８ｐ

資料詳細

タイトル ナノテクノロジーのための走査電子顕微鏡
シリーズ名 表面分析技術選書
著者名等 日本表面科学会 ／編  
出版 丸善 ２００４．２
大きさ等 ２１ｃｍ １８８ｐ
分類 549.97
件名 電子顕微鏡
注記 索引あり
内容紹介 電子顕微鏡の中の走査電子顕微鏡について、装置、試料処理、測定法、分解能から、走査電子顕微鏡の有効活用までを理解できる１冊。ナノテクノロジー領域で重要なツールを実際の観察結果を多く織りまぜて解説する。
要旨 本書は、表面科学、ナノサイエンス、ナノテクノロジーという新しい切り口からＳＥＭの能力と可能性をまとめたものである。おそらく、少なからぬ方がＳＥＭでもこのようなものが観えるのか、あるいは、このような使い方もあるということに驚かれるであろう。原子レベルの分解能がなくとも、操作性の良さと他の計測法や加工法との複合化のしやすさにより、単なる観察手段にとどまらず、ナノ計測・ナノ加工のツールとして、ますます重要な位置を占め、その応用範囲が広がっていくものと考えられる。物質系のナノサイエンス、ナノテクノロジーを中心とした構成。
目次 １　走査電子顕微鏡の概要（基本構成；装置の種類　ほか）；２　装置と測定法（装置；試料処理　ほか）；３　像形成と分解能（電子と固体との相互作用；像形成と各種コントラスト　ほか）；４　ナノマテリアルの観察（半導体ナノ構造の観察；カーボンナノチューブの観察　ほか）；５　その場観察・複合観察（超高真空ＳＥＭによるその場観察；プローブ顕微鏡との複合化　ほか）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-621-07361-3
書誌番号 1104012956
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1104012956

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中央 ４階自然科学 Map 549.9 一般書 利用可 - 2031607003 iLisvirtual

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