上西勝三 /著   -- 日本理工出版会 -- 2004.5 -- 21cm -- 244p

資料詳細

タイトル わかる 集積回路の秘密
著者名等 上西勝三 /著  
出版 日本理工出版会 2004.5
大きさ等 21cm 244p
分類 549.7
件名 集積回路
注記 索引あり
要旨 本書の目的は集積回路を理解する入門書としてだけでなく、一般産業界、経済界の人たちにも集積回路の基本的なことについて理解してもらうことである。
目次 1章 集積回路の発展;2章 集積回路の基礎;3章 設計および材料の準備と工程;4章 酸化膜と不純物拡散;5章 金属膜と絶縁膜の成膜;6章 ホトリソとエッチング;7章 クリーン化と洗浄;8章 組立・信頼性と検査;9章 集積回路の今後
ISBN(13)、ISBN    4-89019-235-2
書誌番号 1104035922
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1104035922

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