資料詳細

【図書】 レジスト材料

高分子先端材料ｏｎｅ　ｐｏｉｎｔ --
伊藤洋／著 -- 共立出版 -- ２００５．２ -- １９ｃｍ -- １０４ｐ

タイトル	レジスト材料
シリーズ名	高分子先端材料ｏｎｅ　ｐｏｉｎｔ
著者名等	伊藤洋／著
出版	共立出版２００５．２
大きさ等	１９ｃｍ１０４ｐ
分類	578.4
件名	感光性樹脂
注記	索引あり
著者紹介	１９７６年東京大学工学系研究科博士課程修了。７６～８０年ニューヨーク州立大学シラキュース校化学科博士研究員、研究員。８０年～現在、ＩＢＭアルマデン研究所Ｒｅｓｅａｒｃｈ　Ｓｔａｆｆ　Ｍｅｍｂｅｒ。主として、感光性高分子、レジストの開発研究、高分子合成に従事。
内容紹介	半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスを概観。過去１０年のみでなく、この先何年間も、化学増幅レジストが独占的に主役を果たすため、この型のレジストに大きく紙面を割いた。
ISBN(13)、ISBN	4-320-04372-3
書誌番号	1105009075
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1105009075

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学 Map		578.4	一般書	利用可	-	2033976685