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【図書】 薄膜作成の基礎

第４版 --
麻蒔立男 ／著   -- 日刊工業新聞社 -- ２００５．７ -- ２１ｃｍ -- ３５２ｐ

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タイトル 薄膜作成の基礎
版情報 第４版
著者名等 麻蒔立男 ／著  
出版 日刊工業新聞社 ２００５．７
大きさ等 ２１ｃｍ ３５２ｐ
分類 549
件名 薄膜
注記 索引あり
目次 第１章　薄膜技術；第２章　真空の基礎；第３章　真空ポンプと真空計測；第４章　真空装置の実際；第５章　薄膜の基礎；第６章　薄膜作成法；第７章　基板；第８章　蒸着法；第９章　スパッタ；第１０章　気相成長ＣＶＤと熱酸化窒化；第１１章　エッチング；第１２章　精密めっき；第１３章　平坦化技術
ISBN(13)、ISBN 　　 4-526-05503-4
書誌番号 1105054850
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1105054850

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549/450 一般書 利用可 - 2034948790 iLisvirtual

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