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【図書】 プラズマイオンプロセスとその応用

電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会 ／編   -- オーム社 -- ２００５．１０ -- ２２ｃｍ -- ２７９ｐ

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タイトル プラズマイオンプロセスとその応用
著者名等 電気学会・プラズマイオン高度利用プロセス調査専門委員会 ／編  
出版 オーム社 ２００５．１０
大きさ等 ２２ｃｍ ２７９ｐ
分類 427.6
件名 プラズマ
注記 文献あり　索引あり
内容紹介 プラズマイオンプロセス法は、半導体への応用技術においてその重要度を増してきている。プラズマ技術、イオン運動の物理、プロセスに求められる条件から、機能性薄膜の生成や半導体への応用技術まで幅広く解説。
要旨 本書では、プラズマイオンプロセス法にかかわるプラズマ技術、イオン運動の物理、三次元基材に適用する条件などの物理に関する事柄から、生産部品の改質技術、半導体への適用技術などの応用技術も広く扱われている。
目次 １章　はじめに；２章　プラズマの基礎；３章　インオシースの基礎；４章　プラズマイオンプロセスにおけるプラズマの条件；５章　プラズマ源；６章　プラズマ計測；７章　モデリング；８章　機能性薄膜の生成；９章　半導体への応用
ISBN(13)、ISBN 　　 4-274-20123-6
書誌番号 1105075925
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1105075925

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 Map 427.6 一般書 利用可 - 2035284748 iLisvirtual

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