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【図書】 機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理

近藤英一 ／著   -- 共立出版 -- ２００５．１０ -- ２１ｃｍ -- ２２６ｐ

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タイトル 機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
著者名等 近藤英一 ／著  
出版 共立出版 ２００５．１０
大きさ等 ２１ｃｍ ２２６ｐ
分類 532
件名 精密加工
注記 文献あり　索引あり
著者紹介 １９８４年早稲田大学理工学部卒。８６年同大学院修了。川崎製鉄ハイテク研究所主任研究員、ＩＭＥＣ研究員などを経て、現在、山梨大学助教授。
内容紹介 マイクロ・ナノ加工の要素技術である真空、プラズマ、薄膜、エッチング加工及びフォトリソグラフィについて、その物理・化学の基本原理を、特に薄膜ドライプロセッシングに主眼を置きながら解説する。
目次 第１章　導入；第２章　真空と気体分子運動論；第３章　プラズマの基礎；第４章　物理蒸着法（ＰＶＤ）；第５章　薄膜の形成過程；第６章　エッチング；第７章　フォトリソグラフィ；付録Ａ　基礎定数表と真空の単位；付録Ｂ　材料の科学についてのノート；付録Ｃ　分布関数とマックスウェル―ボルツマン分布；付録Ｄ　対数目盛と対数グラフ
ISBN(13)、ISBN 　　 4-320-08154-4
書誌番号 1105077285

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中央 ４階自然科学 Map 532 一般書 利用可 - 2035312768 iLisvirtual

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