資料詳細

【図書】 はじめてのナノインプリント技術

ビギナーズブックス --
谷口淳／著 -- 工業調査会 -- ２００５．１２ -- ２１ｃｍ -- ２１５ｐ

タイトル	はじめてのナノインプリント技術
シリーズ名	ビギナーズブックス
著者名等	谷口淳／著
出版	工業調査会２００５．１２
大きさ等	２１ｃｍ２１５ｐ
分類	549
件名	電子光学 , 精密加工
注記	索引あり
要旨	「ナノインプリント」の歴史はまだ１０年である。本書は、ナノインプリントの技術の発展や背景、あるいは企業動向をこの一冊でわかるようにまとめている。どの科学技術分野でも、その技術だけではなく周辺技術とその関係が非常に重要になるが、ナノインプリント技術の場合も、半導体製造技術と機械加工技術といった、両極端の幅の広い分野との絡みがあるため、しばしば混乱を生じることが多い。このようなところを交通整理して、必要最小限で理解が進むように気をつけながら解説されている。ナノインプリント技術の基礎を学ぶ絶好の書である。
目次	第１章　ナノインプリント技術とは；第２章　ナノインプリント技術のための要素技術；第３章　ナノインプリントリソグラフィ；第４章　ナノインプリント技術の位置付け；第５章　ナノインプリント技術の動向；第６章　ナノインプリント技術の将来展望
ISBN(13)、ISBN	4-7693-1248-2
書誌番号	1105092675

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学 Map		549	一般書	利用可	-	2035725264