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【図書】 半導体工場ハンドブック ２００６

産業タイムズ社 -- ２００５．１２ -- ２８ｃｍ -- １４３ｐ

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タイトル 半導体工場ハンドブック ２００６
出版 産業タイムズ社 ２００５．１２
大きさ等 ２８ｃｍ １４３ｐ
分類 549.8
件名 半導体
注記 ２００６のサブタイトル：ナノプロセスに本格突入した次世代ラインの全貌
要旨 ナノプロセスに本格突入した次世代ラインの全貌。
目次 第１部　新世代技術に挑む次世代半導体工場（２００５～２００６年半導体業界展望；国内における半導体前工程工場の新増設計画　ほか）；第２部　新技術・材料・プロセスに挑む装置・材料メーカー動向（リソグラフィー関連装置・材料の動向；フォトマスクおよび関連装置の動向　ほか）；第３部　工場ルポ２００５　次世代デバイスに挑む国内半導体工場（ＮＥＣ山形；東北セミコンダクタ　ほか）；第４部　半導体工場分布図・ディレクトリー（半導体工場分布図（地域別）；台湾半導体工場マップ　ほか）
ISBN(13)、ISBN 　　 4-88353-123-6
書誌番号 1105094316
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1105094316

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.8/225 一般書 利用可 - 2035741405 iLisvirtual

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