資料詳細

【図書】 はじめての薄膜作製技術

ビギナーズブックス --
草野英二／著 -- 工業調査会 -- ２００６．３ -- ２１ｃｍ -- １９１ｐ

タイトル	はじめての薄膜作製技術
シリーズ名	ビギナーズブックス
著者名等	草野英二／著
出版	工業調査会２００６．３
大きさ等	２１ｃｍ１９１ｐ
分類	549
件名	薄膜
注記	索引あり
要旨	コンピュータからメガネレンズまで、薄膜作製技術は欠かせることのできない基盤技術の１つである。にもかかわらず、学問的には体系的に理解されていず、現場の経験と勘に負うところが大きい。デバイス製造の現場においては、日々の問題を解決しつつ、薄膜作製の手法をできるだけ学術的理解に基づいたものとすることが求められている。
目次	第１章　薄膜とは；第２章　薄膜作製技術の基礎；第３章　真空蒸着法；第４章　スパッタリング法；第５章　化学気相成長法；第６章　薄膜の評価技術；第７章　薄膜作製技術の応用
ISBN(13)、ISBN	4-7693-1252-0
書誌番号	1106018607
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1106018607

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学 Map		549	一般書	利用可	-	2036209499