Rainer Waser /編, 木村達也 /訳   -- オーム社 -- 2006.11 -- 21cm -- 955p

資料詳細

タイトル ナノエレクトロニクス 上巻
著者名等 Rainer Waser /編, 木村達也 /訳  
出版 オーム社 2006.11
大きさ等 21cm 955p
分類 549
件名 電子工学
注記 Nanoelectronics and information technology.2nd ed./の翻訳
注記 索引あり
著者紹介 【Waser】2002年以来、Helmholtz研究財団ドイツ研究センタにおいて、ナノエレクトロニクス研究プログラムを推進。アーヘン大学RWTH電気工学情報技術学部教授とHelmholtz研究財団ユーリッヒ研究センタ固体研究所所長を兼任。
内容紹介 ナノエレクトロニクスと情報技術領域の、材料とデバイスに焦点を当て、基本から説き起こし、最先端の状況や考え方にも言及した教科書。上巻では総論、基礎、技術と分析、論理デバイスを扱う。
目次 総論;第1部 基礎(誘電体;強誘電体;電子的性質と量子効果 ほか);第2部 技術と分析(薄膜堆積法;露光法;材料除去技術―エッチングと化学機械研磨 ほか);第3部 論理デバイス(シリコンMOSFET―新材料と新概念;強誘電体電界効果トランジスタ;共鳴トンネリングに基づく量子輸送デバイス ほか)
ISBN(13)、ISBN    4-274-50110-8
書誌番号 1106086236

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