資料詳細

【図書】 プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー

ＣＭＣテクニカルライブラリー --
上條榮治／監修 -- シーエムシー出版 -- ２００７．３ -- ２１ｃｍ -- ３１６ｐ

タイトル	プラズマ・イオンビームとナノテクノロジー
シリーズ名	ＣＭＣテクニカルライブラリー
著者名等	上條榮治／監修
出版	シーエムシー出版２００７．３
大きさ等	２１ｃｍ３１６ｐ
分類	549.1
件名	イオンビーム , プラズマ
注記	『プラズマ・イオンビーム応用とナノテクノロジー』（２００２年刊）の普及版
目次	総論　プラズマ・イオンビーム技術の新展開；基礎編（プラズマの物理化学；イオンビームの物理化学；プラズマ装置；イオンビーム装置）；機能材料応用編（イオン注入による表面機能材料；薄膜誘電体材料；ダイヤモンドおよび関連材料；フラーレン；光機能材料；薄膜積層多層材料）
ISBN(13)、ISBN	978-4-88231-915-3　　 4-88231-915-2
書誌番号	1107017813

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学 Map		549.1	一般書	利用可	-	2038297506