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【図書】 絵とき　「放電技術」基礎のきそ

Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　ｓｅｒｉｅｓ --
小林春洋／著 -- 日刊工業新聞社 -- ２００７．８ -- ２１ｃｍ -- １７８ｐ

タイトル	絵とき　「放電技術」基礎のきそ
シリーズ名	Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　ｓｅｒｉｅｓ
著者名等	小林春洋／著
出版	日刊工業新聞社２００７．８
大きさ等	２１ｃｍ１７８ｐ
分類	427.5
件名	放電
注記	文献あり　索引あり
要旨	ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。
目次	第１章　放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは；高度情報化社会を支える放電技術　ほか）；第２章　物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子；電子の３つの顔　ほか）；第３章　放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突；放電開始　ほか）；第４章　放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜；プラズマＣＶＤ　ほか）；第５章　プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録；超ＬＳＩ　ほか）
ISBN(13)、ISBN	978-4-526-05865-3　　 4-526-05865-3
書誌番号	1107062112
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1107062112

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