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【図書】 よくわかる　真空技術

入門ビジュアルテクノロジー --
アルバック ／著   -- 日本実業出版社 -- ２００７．９ -- ２１ｃｍ -- １７３ｐ

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タイトル よくわかる　真空技術
シリーズ名 入門ビジュアルテクノロジー
著者名等 アルバック ／著  
出版 日本実業出版社 ２００７．９
大きさ等 ２１ｃｍ １７３ｐ
分類 534.93
件名 真空技術
注記 文献あり　索引あり
内容紹介 真空技術について知っておくべき知識を、基本から応用まで、イラスト図解でやさしく解説。真空のメリットから、真空を利用したさまざまな精密製造装置、表面加工処理まで、真空技術についての知識が身につく１冊。
要旨 近年、めざましい発展を遂げるエレクトロニクス分野では、真空中で作られる薄膜を利用した製品が数多く使われています。それはこれらのデバイスの超小型化、高機能化・高信頼性、省資源化、低コスト化に対して、薄膜が大きく貢献しているからです。そしてこうした電子・電気・通信分野だけでなく、材料分析や医薬品・食品、エネルギー・環境など、多くの最先端技術において真空は、その発展を支えています。本書は、こうした真空をつくり出して利用する方法・技術をなるべくやさしく紹介しています。
目次 １章　真空とはどのような状態をいうのだろうか（「真空」とは空間に何もない状態ではない；真空を作るには、空間から気体分子を吸い出す　ほか）；２章　真空を利用した生活用品一身のまわりにある真空技術（水分を凍らせて低圧で昇華させる凍結真空乾燥；真空内で沸点の違いを利用する真空蒸留　ほか）；３章　真空のつくり方・計り方（つくる装置／計る装置）（真空をつくる基本的な装置　排気セット；実際の排気セットは主ポンプ・補助ポンプ＋各装置　ほか）；４章　真空を利用した薄膜加工技術（真空を利用した薄膜堆積法にはいろいろな方法がある；ＰＶＤの代表的手法スパッタ成膜法　ほか）；５章　真空産業の将来（真空技術の新しい活用（１）ナノパーティクル；真空技術の新しい活用（２）カーボンナノチューブ　ほか）
ISBN(13)、ISBN 978-4-534-04259-0　　 4-534-04259-0
書誌番号 1107062171
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1107062171

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中央 ４階自然科学 Map 534.9 一般書 利用可 - 2039171344 iLisvirtual
旭 公開 Map 534 一般書 利用可 - 2039135828 iLisvirtual

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