近畿高エネルギー加工技術研究所ドライコーティング研究会 /編, 池永勝 /監修   -- 日刊工業新聞社 -- 2007.9 -- 21cm -- 235p

資料詳細

タイトル 高機能化のためのDLC成膜技術
著者名等 近畿高エネルギー加工技術研究所ドライコーティング研究会 /編, 池永勝 /監修  
出版 日刊工業新聞社 2007.9
大きさ等 21cm 235p
分類 571
件名 薄膜
注記 索引あり
目次 第1章 DLC膜と成膜技術(DLC膜とは;DLC膜の特性 ほか);第2章 DLCコーティングの市場(DLCコーティング市場の定義と市場動向;DLCコーティングの受託加工推移 ほか);第3章 DLC膜の工業的応用(イオン化蒸着法によるDLC膜の特性と応用;P‐CVD法によるDLC膜の特性と応用 ほか);第4章 今後の開発課題(DLC膜のさらなる品質向上について;生産技術について ほか)
ISBN(13)、ISBN 978-4-526-05941-4   4-526-05941-2
書誌番号 1107069383
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1107069383

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