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【図書】
半導体工場ハンドブック 2008
産業タイムズ社 -- 2007.12 -- 28cm -- 145p
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資料詳細
タイトル
半導体工場ハンドブック 2008
出版
産業タイムズ社 2007.12
大きさ等
28cm 145p
分類
549.8
件名
半導体
注記
2008のサブタイトル:グローバリゼーションに突入した次世代ラインの全貌
目次
巻頭特集 動き出した“脱・ムーア”的ものづくり技術(総論;TSVを用いた三次元パッケージ ほか);第1部 新世代技術に挑む次世代半導体工場(2007~08年半導体業界展望;国内における半導体前工程工場の新増設計画 ほか);第2部 新技術・材料・プロセスに挑む装置・材料メーカー動向(半導体製造装置メーカー50社ランキング;露光装置(ステッパー/スキャナー) ほか);第3部 工場ルポ2007―次世代デバイスに挑む国内半導体工場((株)東芝/サンディスク四日市・第4製造棟;広島エルピーダメモリ(株) ほか);第4部 半導体工場分布図・ディレクトリー(半導体工場分布図(地域別);韓国半導体工場マップ(FAB基準) ほか)
ISBN(13)、ISBN
978-4-88353-147-9 4-88353-147-3
書誌番号
1107094287
URL
https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1107094287
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所蔵
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所蔵館
所蔵場所
別置
請求記号
資料区分
状態
取扱
資料コード
中央
書庫
549.8/227
一般書
利用可
-
2039701661
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