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【図書】 はじめての半導体計測

ビギナーズブックス --
水野文夫 ／著   -- 工業調査会 -- ２００８．３ -- ２１ｃｍ -- ２３８ｐ

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タイトル はじめての半導体計測
シリーズ名 ビギナーズブックス
著者名等 水野文夫 ／著  
出版 工業調査会 ２００８．３
大きさ等 ２１ｃｍ ２３８ｐ
分類 549.8
件名 半導体
注記 索引あり
要旨 計測の中で、半導体デバイスの研究・開発・製造に用いられる観測技術を「半導体計測」という。半導体デバイスが現在のＩＴ（情報技術）時代・ユビキタス社会（どこにでもコンピュータが存在する社会）を支える土台であるとするならば、半導体計測はその土台を下支えする基礎になり、歩留まり向上などにも重要な役割を果たす。本書は、こうした半導体計測技術の基礎から各手法の内容、またケースごとの半導体計測の原理やポイントについて詳細に解説。
目次 第１章　計測（計測とは；計測の機能；計測の性能；トレーサビリティ）；第２章　半導体計測（半導体計測の種類；半導体計測の特徴；半導体計測の手法）；第３章　主な半導体計測（パターン寸法・ＬＥＲ（ＬＷＲ）・形状の観測；微粒子・パターン欠陥の検査；膜厚の測定；ウエーハ表面汚染物質の分析；補足：既成概念からの脱却…超高エネルギー電子ビームの使用）
ISBN(13)、ISBN 978-4-7693-1271-0　　 4-7693-1271-7
書誌番号 1108020139
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1108020139

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.8/301 一般書 利用可 - 2040417640 iLisvirtual
磯子 公開 Map 549 一般書 利用可 - 2040460155 iLisvirtual

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