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【図書】 現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ

反応性高速スパッタの実務アドバイス --
小島啓安 ／著   -- 日刊工業新聞社 -- ２００８．８ -- ２１ｃｍ -- ３８４ｐ

資料詳細

タイトル 現場のスパッタリング薄膜Ｑ＆Ａ
副書名 反応性高速スパッタの実務アドバイス
著者名等 小島啓安 ／著  
出版 日刊工業新聞社 ２００８．８
大きさ等 ２１ｃｍ ３８４ｐ
分類 549
件名 薄膜
注記 文献あり　索引あり
目次 第１部　基礎編（はじめに；スパッタリングの基礎知識；いろいろなスパッタ法；反応性高速スパッタ法）；第２部　実践編（ターゲットとカソード；アーキング対策とアノード；コンポーネント；膜質）；第３部　応用編（装置；測定；応用）
ISBN(13)、ISBN 978-4-526-06119-6　　 4-526-06119-0
書誌番号 1108061191
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1108061191

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中央 ４階自然科学 Map 549 一般書 利用可 - 2041187266 iLisvirtual

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