資料詳細

【図書】 半導体ＣＭＰ用語事典

タイトル	半導体ＣＭＰ用語事典
著者名等	精密工学会プラナリゼーションＣＭＰとその応用技術専門委員会／編
出版	オーム社２００８．１０
大きさ等	１９ｃｍ２６２ｐ
分類	549.3
件名	集積回路
注記	文献あり　索引あり
内容紹介	加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体ＣＭＰ技術・工程に関連する重要用語約４５０語を、図表・データを用いてわかりやすく解説。
要旨	加工技術・装置、洗浄・洗浄化技術、計測・評価技術、デバイス化技術などの各分野について、半導体ＣＭＰ技術・工程に関連する重要用語約４５０語を、図表・データを用いてわかりやすく解説。付録には、現場実務に必要なデータや関連する単位、ＣＭＰ装置の年表や、関連学協会機関略称一覧などの便利な情報を掲載。巻末の索引には、英和用語索引を掲載し、使いやすく調べやすい構成。
ISBN(13)、ISBN	978-4-274-20612-2　　 4-274-20612-2
書誌番号	1108076313

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学 Map	参考書	549.3	一般書	利用可	館内のみ	2041502323