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【図書】 ＬＳＩテスティングハンドブック

ＬＳＩテスティング学会 ／編   -- オーム社 -- ２００８．１１ -- ２２ｃｍ -- ５９８ｐ

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タイトル ＬＳＩテスティングハンドブック
著者名等 ＬＳＩテスティング学会 ／編  
出版 オーム社 ２００８．１１
大きさ等 ２２ｃｍ ５９８ｐ
分類 549.7
件名 集積回路－便覧
注記 索引あり
内容紹介 ＬＳＩテスティングに関する技術全般を整理して体系化した、この分野で初めてのハンドブック。ＬＳＩテストに関連する基本技術を含めて、すべての項目において具体的な事例やデータなど包括的に情報を提供。
要旨 理論と技術、装置全般の原理や法廷方法など「ＬＳＩのテスト」を体系化。
目次 １編　ＬＳＩ製造工程と検査・解析（設計工程：テスト設計；マスク製造工程　ほか）；２編　歩留り解析（歩留り解析；マスク解析　ほか）；３編　故障解析（故障現象概論；故障解析の流れ　ほか）；４編　ツールの原理（光；Ｘ線　ほか）
ISBN(13)、ISBN 978-4-274-20632-0　　 4-274-20632-7
書誌番号 1108081933
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1108081933

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.7/180 一般書 利用可 - 2041624623 iLisvirtual

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