資料詳細

【図書】 はじめてのＭＥＭＳ

ビギナーズブックス --
江刺正喜／著 -- 工業調査会 -- ２００９．９ -- ２１ｃｍ -- ２３０ｐ

タイトル	はじめてのＭＥＭＳ
シリーズ名	ビギナーズブックス
著者名等	江刺正喜／著
出版	工業調査会２００９．９
大きさ等	２１ｃｍ２３０ｐ
分類	530
件名	マイクロマシン
注記	索引あり
要旨	ＭＥＭＳ（微小機械電気システム）の応用分野が拡大している。従来の自動車のエアバッグ、情報通信機器への応用から、最近はゲーム機、製造装置、科学機器、医療福祉機器分野での採用も始まっている。本書では、入門者がＭＥＭＳの基礎から製作、要素、応用までを学べるよう解説した。
目次	第１章　マイクロマシーニングとＭＥＭＳ（マイクロマシーニングとＭＥＭＳ；ＭＥＭＳの歴史）；第２章　ＭＥＭＳの製作（パターニング；エッチング；堆積と応力制御；接合；複合プロセス；集積化；パッケージングと組立；設計・評価）；第３章　ＭＥＭＳの要素（センサ；アクチュエータ；エネルギー源）；第４章　ＭＥＭＳの応用（自動車・家電応用；情報・通信応用；製造・検査応用；医療・バイオ応用；ＭＥＭＳビジネス）
ISBN(13)、ISBN	978-4-7693-1287-1　　 4-7693-1287-3
書誌番号	1109068807

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学 Map		530	一般書	利用可	-	2043425083