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【図書】 集積ナノデバイス

半導体デバイスシリーズ --
平本俊郎 ／編著, 内田建 ／著, 杉井信之 ／著, 竹内潔 ／著   -- 丸善 -- ２００９．１１ -- ２１ｃｍ -- ２２７ｐ

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タイトル 集積ナノデバイス
シリーズ名 半導体デバイスシリーズ
著者名等 平本俊郎 ／編著, 内田建 ／著, 杉井信之 ／著, 竹内潔 ／著  
出版 丸善 ２００９．１１
大きさ等 ２１ｃｍ ２２７ｐ
分類 549.7
件名 集積回路
注記 文献あり　索引あり
内容紹介 第一線の著者陣による半導体工学の本格的専門書シリーズ第１巻。ナノスケールＶＬＳＩデバイス技術について、動作原理の基礎と諸問題の技術的背景、その対処法について、深くポイントを掘り下げて解説する。
要旨 変革期を迎えるＶＬＳＩ技術、半導体デバイス技術の差別化のコア技術について、第一線の研究者、技術者がまとめた半導体工学の本格的専門書シリーズ。本書はシリーズ第１巻。ナノスケールＶＬＳＩデバイス技術について、動作原理の基礎と諸問題の技術的背景、その対処法をまとめた。ナノ領域における開発現場での応用と着目点、解決すべき問題を整理。
目次 １　序論（スケーリング則とムーアの法則；集積ナノデバイスの諸問題　ほか）；２　ＭＯＳトランジスタの基礎（ＭＯＳトランジスタの構造と動作；ＭＯＳトランジスタの１次近似モデル　ほか）；３　微細トランジスタの性能向上（極薄膜Ｓｉや３次元構造Ｓｉによる新構造トランジスタ；移動度向上技術（ひずみＳｉ、新チャネル材料））；４　微細化・集積化にともなう諸問題（スケーリングによる微細化とその課題；微細ＭＯＳＦＥＴの信頼性　ほか）；５　将来展望（将来に向けての技術動向；集積ナノデバイスマップ　ほか）
ISBN(13)、ISBN 978-4-621-08208-9　　 4-621-08208-6
書誌番号 1109088783

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 549.7 一般書 予約受取待 - 2040580630 iLisvirtual

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