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【図書】 プラズマ工学

小越澄雄 ／著   -- 電気書院 -- ２０１０．９ -- ２１ｃｍ -- １６８ｐ

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タイトル プラズマ工学
著者名等 小越澄雄 ／著  
出版 電気書院 ２０１０．９
大きさ等 ２１ｃｍ １６８ｐ
分類 427.6
件名 プラズマ
注記 文献あり　索引あり
目次 プラズマとは；プラズマの発生・維持；プラズマを記述する方程式とプラズマの特性；プラズマ内の波；拡散とプラズマ密度分布；プラズマの温度・密度の推定と容量結合形プラズマ源；誘導結合形プラズマ源；電磁波を用いた高密度プラズマ源；スパッタリングと直流マグネトロン放電；プラズマ計測；半導体プロセスへの応用；プラズマの光源としての応用；核融合発電への応用；大気圧放電とその応用；超粒子シミュレーション
ISBN(13)、ISBN 978-4-485-30212-5　　 4-485-30212-1
書誌番号 1110065488
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1110065488

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中央 ４階自然科学 Map 427.6 一般書 利用可 - 2044838241 iLisvirtual

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