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【図書】 「薄膜」のキホン

原子に迫る超微細・超高密度の世界 -- イチバンやさしい理工系 --
麻蒔立男 ／著   -- ソフトバンククリエイティブ -- ２０１０．９ -- ２１ｃｍ -- １９０ｐ

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タイトル 「薄膜」のキホン
副書名 原子に迫る超微細・超高密度の世界
シリーズ名 イチバンやさしい理工系
著者名等 麻蒔立男 ／著  
出版 ソフトバンククリエイティブ ２０１０．９
大きさ等 ２１ｃｍ １９０ｐ
分類 549
件名 薄膜
注記 文献あり　索引あり
著者紹介 １９３４年愛知県生まれ。５７年静岡大学工学部卒業後、日本電気（株）に入社、６７年から日電バリアンに出向。９０～２０１０年東京理科大学教授ならびに同嘱託教授。日本真空協会個人理事。著書に「真空のはなし」など。
内容紹介 真空の中でプラズマを利用して、新しい素材をつくる薄膜技術。わが国オリジナルの技術が世界をリードする側面を持つ薄膜技術の全てにわたり、注目すべきポイントに絞ってやさしく図解した入門書。
要旨 わが国オリジナルの技術が世界をリードする側面をもつ薄膜技術のすべてにわたり、注目すべきポイントにしぼってやさしく図解した入門書。真空の中でプラズマを利用して新しい素材をつくる薄膜技術で、どのような世界が見えてくるのかなどを紹介。
目次 第１章　よい暮らしは美と微から；第２章　真空は薄膜づくりの貴重な環境；第３章　薄膜をつくろう；第４章　薄膜には独特の性質が表れる；第５章　基板と薄膜を強く結びつけるための技術；第６章　薄膜づくりにはプラズマが大切；第７章　古くから用いられた蒸着法；第８章　大面積ソース・量産向きのスパッタ法；第９章　気体から薄膜をつくる気相成長法；第１０章　液体の中で薄膜をつくる―めっき；第１１章　薄膜を回路やトランジスタに加工するエッチング；第１２章　薄膜を使って前進―その可能性はかぎりない
ISBN(13)、ISBN 978-4-7973-5713-4　　 4-7973-5713-4
書誌番号 1110068359
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1110068359

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中央 ４階自然科学 Map 549 一般書 利用可 - 2044895024 iLisvirtual
磯子 公開 Map 549 一般書 利用可 - 2045098020 iLisvirtual
緑 公開 Map 549 一般書 利用可 - 2045094963 iLisvirtual
都筑 公開 Map 549 一般書 利用可 - 2044979341 iLisvirtual

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