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【図書】 分光エリプソメトリー

第２版 --
藤原裕之 ／著   -- 丸善出版 -- ２０１１．５ -- ２１ｃｍ -- ３６９ｐ

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タイトル 分光エリプソメトリー
版情報 第２版
著者名等 藤原裕之 ／著  
出版 丸善出版 ２０１１．５
大きさ等 ２１ｃｍ ３６９ｐ
分類 425.5
件名 分光学
注記 初版：丸善２００３年刊
注記 文献あり　索引あり
著者紹介 １９９１年早稲田大学理工学部卒。９６年東京工業大学大学院博士課程修了、ペンシルバニア州立大学研究員。９８年通商産業省工業技術院電子技術総合研究所研究員。２００１年産業技術総合研究所研究員。０８年岐阜大学工学部教授。同大学未来型太陽光発電システム研究センター部門長。
内容紹介 分光エリプソメトリーの急速な利用拡大を踏まえ、その理解に必要な基礎、及び具体的な測定法・解析法についてわかりやすく解説。広範な分野で利用できる入門書。「光学異方性の測定評価」とその解析例を加えた新版。
要旨 「第２版」では最新の動向を踏まえ、特に有機デバイスの評価に必要な「光学異方性の測定評価」とその解析例を新たに追加。さらに読者がより内容を理解しやすいように全体的に説明を増やし、近年開発された様々なエリプソメトリー装置の原理等についても解説を加えた。
目次 第１章　分光エリプソメトリーとは；第２章　光学の基礎；第３章　偏光；第４章　分光エリプソメトリーの原理；第５章　データ解析；第６章　光学異方性の評価；第７章　材料別解析例；第８章　分光エリプソメトリーによる実時間観測
ISBN(13)、ISBN 978-4-621-08322-2　　 4-621-08322-8
書誌番号 1111034033

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 Map 425.5 一般書 利用可 - 2046568969 iLisvirtual

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