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【図書】 はじめての半導体ドライエッチング技術

現場の即戦力 --
野尻一男 ／著   -- 技術評論社 -- ２０１２．１ -- ２１ｃｍ -- １６２ｐ

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タイトル はじめての半導体ドライエッチング技術
副書名 現場の即戦力
著者名等 野尻一男 ／著  
出版 技術評論社 ２０１２．１
大きさ等 ２１ｃｍ １６２ｐ
分類 549.8
件名 半導体
注記 文献あり　索引あり
目次 １章　半導体集積回路の発展とドライエッチング技術；２章　ドライエッチングのメカニズム；３章　各種材料のエッチング；４章　ドライエッチング装置；５章　ドライエッチングダメージ；６章　新しいエッチング技術；７章　ドライエッチング技術の今後の課題と展望
ISBN(13)、ISBN 978-4-7741-4940-0　　 4-7741-4940-3
書誌番号 1111086522

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 書庫 549.8/300 一般書 利用可 - 2047397211 iLisvirtual

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