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【図書】 半導体ＬＳＩ技術

未来へつなぐデジタルシリーズ --
牧野博之 ／著, 益子洋治 ／著, 山本秀和 ／著   -- 共立出版 -- ２０１２．３ -- ２６ｃｍ -- ２８７ｐ

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タイトル 半導体ＬＳＩ技術
シリーズ名 未来へつなぐデジタルシリーズ
著者名等 牧野博之 ／著, 益子洋治 ／著, 山本秀和 ／著  
出版 共立出版 ２０１２．３
大きさ等 ２６ｃｍ ２８７ｐ
分類 549.7
件名 ＬＳＩ
注記 並列タイトル：Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ＬＳＩ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
注記 索引あり
著者紹介 【牧野】１９８３年京都大学理学部卒、三菱電機（株）入社。２００３年（株）ルネサステクノロジ。０８年より大阪工業大学情報科学部コンピュータ科学科准教授。受賞歴：Ｂｅｓｔ　Ｐａｐｅｒ　Ａｗａｒｄ等。ＩＥＥＥ会員、電子情報通信学会員。
内容紹介 半導体技術の発展により、現在のＩＣＴ社会において、ＬＳＩは必要不可欠の存在。本書では、ＬＳＩの歴史から半導体デバイス、ＬＳＩ製造プロセスなどについて、基本的な考えから最近技術までを解説する。
目次 ＬＳＩとはなにか；半導体の物性；半導体デバイス；ＣＭＯＳデジタル回路；ＣＭＯＳ論理設計；ＬＳＩ設計フロー；レイアウト設計；ＬＳＩの性能；ＬＳＩの製造；シリコンウェーハ製造技術；微細パターン形成技術；トランジスタ形成技術；敗戦形成技術；パッケージング技術；計測・検査・評価技術とクリーン化技術
ISBN(13)、ISBN 978-4-320-12307-6　　 4-320-12307-7
書誌番号 1112016971
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1112016971

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 Map 549.7 一般書 利用可 - 2048652959 iLisvirtual

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