資料詳細

【図書】 液浸リソグラフィのプロセスと材料

普及版 -- エレクトロニクスシリーズ --
東木達彦／監修 -- シーエムシー出版 -- ２０１２．８ -- ２６ｃｍ -- ２４３ｐ

タイトル	液浸リソグラフィのプロセスと材料
版情報	普及版
シリーズ名	エレクトロニクスシリーズ
著者名等	東木達彦／監修
出版	シーエムシー出版２０１２．８
大きさ等	２６ｃｍ２４３ｐ
分類	549.7
件名	リソグラフィー
目次	液浸リソグラフィーとは；液浸露光用塗布現像装置；レチクル技術；液浸リソグラフィの光学系；液浸露光装置の開発；液浸用レジストの開発；液浸用トップコート材料；液浸レジスト材料の評価；含フッ素樹脂のリソグラフィ分野への応用；偏光照明技術；高ＮＡ投影レンズの開発；次世代液浸露光用高屈折率液体の開発；次世代液浸リソグラフィの光学系；３２ｎｍハーフピッチに向けた今後のリソグラフィ展開
ISBN(13)、ISBN	978-4-7813-0550-9　　 4-7813-0550-4
書誌番号	1112056930
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1112056930

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学		549.7	一般書	貸出中	-	2049551722