資料詳細

【図書】 ＥＵＶ光源の開発と応用

普及版 -- エレクトロニクスシリーズ --
豊田浩一／監修, 岡崎信次／監修 -- シーエムシー出版 -- ２０１３．３ -- ２６ｃｍ -- ２７３ｐ

タイトル	ＥＵＶ光源の開発と応用
版情報	普及版
シリーズ名	エレクトロニクスシリーズ
著者名等	豊田浩一／監修, 岡崎信次／監修
出版	シーエムシー出版２０１３．３
大きさ等	２６ｃｍ２７３ｐ
分類	549.95
件名	紫外線 , リソグラフィー
目次	第１編　ＥＵＶ光源の開発（露光装置とＥＵＶリソグラフィ；ＥＵＶリソグラフィ用光源プラズマ；プラズマ励起用高出力固体レーザー開発の現状；究極の変換効率の超微粒子広域分散型ターゲットレーザー生成プラズマＸ線源　ほか）；第２編　ＥＵＶリソグラフィ用のマスクとレジスト技術（Ｘ線多層膜の物理；ＥＵＶ用反射型マスク基板；ＥＵＶ用マスク；ＥＵＶレジストの特異性と反応機構　ほか）
ISBN(13)、ISBN	978-4-7813-0709-1　　 4-7813-0709-4
書誌番号	1113028712
URL	https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1113028712

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学 Map		549.9	一般書	利用可	-	2050169297