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【図書】 ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎

表面技術協会 ／編   -- コロナ社 -- ２０１３．５ -- ２１ｃｍ -- １９８ｐ

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タイトル ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎
著者名等 表面技術協会 ／編  
出版 コロナ社 ２０１３．５
大きさ等 ２１ｃｍ １９８ｐ
分類 566.7
件名 金属表面処理 , 薄膜
注記 並列タイトル：Ｉｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎ　ｔｏ　Ｄｒｙ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　ｆｏｒ　Ｓｕｒｆａｃｅ　Ｆｉｎｉｓｈｉｎｇ　ａｎｄ　Ｔｈｉｎ　Ｆｉｌｍ　Ｃｏａｔｉｎｇ
注記 文献あり　索引あり
内容紹介 ドライプロセスの歴史的発展過程にふれ、これを支える基盤技術である真空・プラズマを解説。さらに、代表的なドライプロセスについて、どんな原理・原則に基づいているか、薄膜・表面評価分析技術について解説。
目次 １　ドライプロセスとプラズマ（表面処理；ドライプロセスと真空　ほか）；２　真空およびプラズマ（真空；プラズマ　ほか）；３　ドライプロセスによる表面処理と薄膜形成（真空蒸着；イオンプレーティング　ほか）；４　分析と評価（膜厚測定；表面分析　ほか）
ISBN(13)、ISBN 978-4-339-04631-1　　 4-339-04631-0
書誌番号 1113047576
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1113047576

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 566.7 一般書 貸出中 - 2050764500 iLisvirtual

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