資料詳細

【図書】 ナノインプリント技術

松井真二／編著, 平井義彦／編著, 電子情報通信学会／編 -- 電子情報通信学会 -- ２０１４．３ -- ２１ｃｍ -- ２６５ｐ

タイトル	ナノインプリント技術
著者名等	松井真二／編著, 平井義彦／編著, 電子情報通信学会／編
出版	電子情報通信学会２０１４．３
大きさ等	２１ｃｍ２６５ｐ
分類	549
件名	ナノインプリント
注記	並列タイトル：Ｎａｎｏｉｍｐｒｉｎｔ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ
注記	索引あり
要旨	ナノインプリントの基礎とともに現状で最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用についてわかりやすく解説。実際にナノインプリント技術に取り組む際に参考になる最新の研究成果を網羅している。
目次	ナノインプリントと微細加工；ナノインプリントの物理化学とシミュレーション；熱ナノインプリント；ＵＶナノインプリント；室温ナノインプリント；モールド技術；離型技術；装置技術；３次元化・積層技術；ナノ光学応用〔ほか〕
ISBN(13)、ISBN	978-4-88552-285-7　　 4-88552-285-4
書誌番号	1113144336

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	別置	請求記号	資料区分	状態	取扱	資料コード
中央	４階自然科学 Map		549	一般書	利用可	-	2052048888