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【図書】 ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用

表面技術協会 ／編   -- コロナ社 -- ２０１６．１２ -- ２１ｃｍ -- ３０５ｐ

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タイトル ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の応用
著者名等 表面技術協会 ／編  
出版 コロナ社 ２０１６．１２
大きさ等 ２１ｃｍ ３０５ｐ
分類 566.7
件名 金属表面処理 , 薄膜 , 真空蒸着
注記 欧文タイトル：Ａｄｖａｎｃｅｄ　Ｄｒｙ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　ｆｏｒ　Ｓｕｒｆａｃｅ　Ｆｉｎｉｓｈｉｎｇ　ａｎｄ　Ｔｈｉｎ　Ｆｉｌｍｓ　Ｃｏａｔｉｎｇ
注記 文献あり　索引あり
目次 第１編　ドライプロセスの基盤技術（真空技術；ガス制御；プロセスモニター）；第２編　ドライプロセスの応用（光学薄膜；トライボロジー薄膜；表面硬化処理；耐環境性皮膜；ガスバリア膜；親水性とはっ水性；高分子材料の表面処理；炭素系薄膜；ドライプロセスと医療）
ISBN(13)、ISBN 978-4-339-04650-2　　 4-339-04650-7
書誌番号 1113441072

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 Map 566.7 一般書 利用可 - 2057929556 iLisvirtual

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