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【図書】 プラズマプロセス技術

ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー --
プラズマ・核融合学会 ／編   -- 森北出版 -- ２０１７．１ -- ２２ｃｍ -- ２７３ｐ

資料詳細

タイトル プラズマプロセス技術
副書名 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
著者名等 プラズマ・核融合学会 ／編  
出版 森北出版 ２０１７．１
大きさ等 ２２ｃｍ ２７３ｐ
分類 427.6
件名 プラズマ
注記 索引あり
要旨 最先端のプラズマ応用技術を解説！基礎理論から各種の応用事例、計測・評価技術まで。
目次 第１章　プラズマ技術の基礎；第２章　プラズマナノプロセスの物理的基礎；第３章　プラズマ気相反応とナノ表面反応の基礎；第４章　ナノエッチング技術；第５章　ナノ材料の基板成長と構造制御；第６章　ナノ粒子の気相合成；第７章　計測技術とプロセス解析
ISBN(13)、ISBN 978-4-627-77561-9　　 4-627-77561-X
書誌番号 1113455556

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
中央 ４階自然科学 Map 427.6 一般書 利用可 - 2058158901 iLisvirtual

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