普及版 -- エレクトロニクスシリーズ --
松井真二 /監修   -- シーエムシー出版 -- 2018.3 -- 26cm -- 282p

資料詳細

タイトル ナノインプリントの開発とデバイス応用
版情報 普及版
シリーズ名 エレクトロニクスシリーズ
著者名等 松井真二 /監修  
出版 シーエムシー出版 2018.3
大きさ等 26cm 282p
分類 549
件名 ナノインプリント
注記 欧文タイトル:Development of Nanoimprint and Device Applications
著者紹介 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所教授。(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
目次 総論;第1編 転写方式(熱ナノインプリント;光ナノインプリント;室温ナノインプリント;ナノインプリントのシミュレーション技術);第2編 装置と関連部材(ナノインプリント装置;モールド;樹脂;離型剤(評価);離型不良・課題;ナノインプリントパターン評価);第3編 デバイス応用(光デバイス;電子デバイス;エネルギーデバイス;バイオデバイス)
ISBN(13)、ISBN 978-4-7813-1272-9   4-7813-1272-1
書誌番号 1113571381
URL https://opac.lib.city.yokohama.lg.jp/winj/opac/switch-detail.do?bibid=1113571381

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所蔵館 所蔵場所 別置 請求記号 資料区分 状態 取扱 資料コード
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